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Estação experimental 01 - pré-caracterização de amostras e dispositivos; micromanipulador de quatro pontas com microscópio de 2000x de ampliação. |
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Estação experimental 02 - sistemas de detecção ac e dc, temperaturas entre 10 e 800 K, amostra em vácuo, excitação óptica. |
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Estação experimental 03 - sistemas de detecção ac e dc, temperaturas entre 4 e 300 K em atmosfera de hélio. |
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Estação experimental 04 - sistemas de detecção ac e dc, temperaturas entre 8 e 300 K, amostra em vácuo, ciclo rápido, excitação óptica. |
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Estação experimental 05 - sistemas de detecção ac e dc, temperaturas entre 10 e 300 K, amostra em vácuo; temperaturas entre 300 e 500 K amostra em ar; excitação óptica. |
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Microsoldadora para a montagem de dispositivos. |
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Microscópio Eletrônico de Varredura JEOL JSM 6510 equipado com módulo de litografia eletrônica. |
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Evaporadora Edwards AUTO 306 equipada com electron-beam e fonte térmica. |
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Evaporadora Edwards Brasil equipada com fonte térmica. |
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Fornos para síntese: tubular MiniMite Blue-M, usado para síntese de nanoestruturas e tratamento térmico de amostras (Tmáx = 1100 oC), tubular Lindberg Blue-M (Tmáx = 1500 oC) e tubular Lindberg Blue-M de três zonas independentes. |
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Sala Limpa: Microscópio metalográfico Zeiss Axio M2m, ampliação de 1600x, módulo topográfico. |
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Sala Limpa: Equipamento para litografia com escrita direta Durham Magneto-Optics; laseres de 405 e 365 nm; resolução de 0.2 um. |
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Sala Limpa: Evaporadora Edwards AUTO 306 equipada com electron-beam. |
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Sala Limpa: MilliQ (água DI 18 MOhms), spinners (fotoresiste (série AZ e Shipley) e eletroresite (PMMA)).
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Sala Limpa: Microscópio Zeiss (800x) e Lupa 40x para inspeção de amostras. |
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Sala Limpa: Fonte de UV 365 nm e 405 nm para litografia convencional. |
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